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書誌情報サマリ

書名

薄膜工学　　　　　　　　

著者名 金原 粲／監修 　 吉田 貞史／編著 　 近藤 高志／編著 　 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ キンバラ アキラ　ヨシダ サダフミ　コンドウ タカシ　ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1002000126297
書誌種別 和書
書名 薄膜工学　　　　　　　　
著者名 金原 粲／監修 吉田 貞史／編著 近藤 高志／編著 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
書名ヨミ ハクマク コウガク　　　
著者名ヨミ キンバラ アキラ
版年 第2版
出版者 丸善出版
出版地 東京
出版年月 2011.6
ページ数 12,295p
大きさ 21cm
価格 ￥３８００
言語区分 日本語
ISBN 4-621-08414-4
ISBN13 978-4-621-08414-4
分類 549.8
件名 薄膜
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。



内容細目

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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0022207476県立図書館549.8/ｷﾝ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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