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書誌情報サマリ

書名

はじめての薄膜作製技術　　　　　ビギナーズブックス　40　　

著者名 草野 英二／著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3

書誌詳細

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タイトル番号 1000610232826
書誌種別 和書
書名 はじめての薄膜作製技術　　　　　ビギナーズブックス　40　　
著者名 草野 英二／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ　　ビギナーズ ブックス　
著者名ヨミ クサノ エイジ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 40
出版者 工業調査会
出版地 東京
出版年月 2006.3
ページ数 191p
大きさ 21cm
価格 ￥２２００
言語区分 日本語
ISBN 4-7693-1252-0
分類 549.8
件名 薄膜
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0021257860県立図書館549.8/ｸｻ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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