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書誌情報サマリ

書名

薄膜技術の新潮流　　多彩な新規応用をカバー　　　ケイブックス　128　　

著者名 平尾 孝／[ほか]共著
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
出版者 工業調査会
出版年月 1997.7

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1009710044366
書誌種別 和書
書名 薄膜技術の新潮流　　多彩な新規応用をカバー　　　ケイブックス　128　　
副書名 多彩な新規応用をカバー
著者名 平尾 孝／[ほか]共著
書名ヨミ ハクマク ギジュツ ノ シンチョウリュウ　タサイ ナ シンキ オウヨウ オ カバー　ケイ ブックス　
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
叢書名 ケイブックス
叢書巻次 128
出版者 工業調査会
出版地 東京
出版年月 1997.7
ページ数 258p
大きさ 19cm
価格 ￥２１００
言語区分 日本語
ISBN 4-7693-1157-5
分類 549.8
件名 薄膜
内容紹介 半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0005305560県立図書館549.8/ﾋﾗ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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