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書誌情報サマリ

書名

VLSIプロセス技術　　高歩留りのための問題点とその解決　　　　　　

著者名 小林 稔／著 　 中島 蕃／著 　 垂井 康夫／監修
著者名ヨミ コバヤシ ミノル　ナカジマ シゲル　タルイ ヤスオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2002.3

書誌詳細

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タイトル番号 1009910315142
書誌種別 和書
書名 VLSIプロセス技術　　高歩留りのための問題点とその解決　　　　　　
副書名 高歩留りのための問題点とその解決
著者名 小林 稔／著 中島 蕃／著 垂井 康夫／監修
書名ヨミ ヴイエルエスアイ プロセス ギジュツ　コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ　　
著者名ヨミ コバヤシ ミノル
版年 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年月 2002.3
ページ数 169p
大きさ 22cm
価格 ￥２９００
言語区分 日本語
ISBN 4-526-04905-0
分類 549.7
件名 集積回路
内容紹介 LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。
著者紹介 元日本電信電話会社、NEL勤務。工学博士。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020331401県立図書館549.7/ｺﾊ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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