蔵書情報
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書誌情報サマリ
書名 |
薄膜技術の新潮流 多彩な新規応用をカバー ケイブックス 128
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著者名 |
平尾 孝/[ほか]共著
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著者名ヨミ |
ヒラオ タカシ |
出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
1997.7 |
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトル番号 |
1009710044366 |
書誌種別 |
和書 |
書名 |
薄膜技術の新潮流 多彩な新規応用をカバー ケイブックス 128 |
著者名 |
平尾 孝/[ほか]共著
|
書名ヨミ |
ハクマク ギジュツ ノ シンチョウリュウ タサイ ナ シンキ オウヨウ オ カバー ケイ ブックス |
著者名ヨミ |
ヒラオ タカシ |
叢書名 |
ケイブックス
|
叢書巻次 |
128 |
出版者 |
工業調査会
|
出版地 |
東京 |
出版年月 |
1997.7 |
ページ数 |
258p |
大きさ |
19cm |
価格 |
¥2100 |
言語区分 |
日本語 |
ISBN |
4-7693-1157-5 |
分類 |
549.8
|
件名 |
薄膜 |
内容紹介 |
半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。 |
内容細目
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
資料番号 |
所蔵館 |
請求番号 |
配架場所 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
0005305560 | 県立図書館 | 549.8/ヒラ/ | 書庫1 | 一般和書 | 貸可資料 | 在庫 |
○ |
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