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書誌情報サマリ

書名

薄膜化技術　　　　　　　　

著者名 和佐 清孝／著 　 早川 茂／著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ　ハヤカワ シゲル
出版者 共立出版
出版年月 2002.6

書誌詳細

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タイトル番号 1009910336352
書誌種別 和書
書名 薄膜化技術　　　　　　　　
著者名 和佐 清孝／著 早川 茂／著
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ　　　
著者名ヨミ ワサ キヨタカ
版年 第3版
出版者 共立出版
出版地 東京
出版年月 2002.6
ページ数 316p
大きさ 22cm
価格 ￥５０００
言語区分 日本語
ISBN 4-320-08613-9
分類 549.8
件名 薄膜
内容紹介 原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。
著者紹介 横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020405460県立図書館549.8/ﾜｻ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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