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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　　リソグラフィ技術の核心に迫る　微細化の鍵　　図解入門　　　

著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10

書誌詳細

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タイトル番号 1002000151302
書誌種別 和書
書名 よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み　　リソグラフィ技術の核心に迫る　微細化の鍵　　図解入門　　　
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る　微細化の鍵
著者名 佐藤 淳一／著
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ　リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル　ズカイ ニュウモン　
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
叢書名 図解入門
出版者 秀和システム
出版地 東京
出版年月 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
価格 ￥２０００
言語区分 日本語
ISBN 4-7980-3063-0
ISBN13 978-4-7980-3063-0
分類 549.7
件名 リソグラフィー　半導体
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「半導体の基礎強化書」など。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0022250336県立図書館549.7/ｻﾄ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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