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書誌情報サマリ

書名

レジスト材料　　　　　高分子先端材料One Point　10　　

著者名 伊藤 洋／著
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
出版者 共立出版
出版年月 2005.2

書誌詳細

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タイトル番号 1000510111067
書誌種別 和書
書名 レジスト材料　　　　　高分子先端材料One Point　10　　
著者名 伊藤 洋／著
書名ヨミ レジスト ザイリョウ　　コウブンシ センタン ザイリョウ ワン ポイント　
著者名ヨミ イトウ ヒロシ
叢書名 高分子先端材料One Point
叢書巻次 10
出版者 共立出版
出版地 東京
出版年月 2005.2
ページ数 4,104p
大きさ 19cm
価格 ￥１４００
言語区分 日本語
ISBN 4-320-04372-3
分類 549.7
件名 リソグラフィー　感光性樹脂
内容紹介 高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
著者紹介 東京大学工学系研究科博士課程修了。現在、IBMアルマデン研究所Research Staff Member。主に感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020976825県立図書館549.7/ｲﾄ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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