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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術　　　現場の即戦力　　　

著者名 岡崎 信次／著 　 鈴木 章義／著 　 上野 巧／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ　スズキ アキヨシ　ウエノ タクミ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1

書誌詳細

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タイトル番号 1002000172461
書誌種別 和書
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術　　　現場の即戦力　　　
著者名 岡崎 信次／著 鈴木 章義／著 上野 巧／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ　　ゲンバ ノ ソクセンリョク　
著者名ヨミ オカザキ シンジ
叢書名 現場の即戦力
出版者 技術評論社
出版地 東京
出版年月 2012.1
ページ数 10,301p
大きさ 21cm
価格 ￥２５８０
言語区分 日本語
ISBN 4-7741-4939-4
ISBN13 978-4-7741-4939-4
分類 549.7
件名 リソグラフィー　半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
著者紹介 (株)ギガフォトンからEUVAに出向。IEEEフェロー、SPIEフェロー。
注記 工業調査会 2003年刊の改訂



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0022287858県立図書館549.7/ｵｶ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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