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書誌情報サマリ

書名

プラズマイオンプロセスとその応用　　　　　　

著者名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会／編
著者名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2005.10

書誌詳細

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タイトル番号 1000510188845
書誌種別 和書
書名 プラズマイオンプロセスとその応用　　　　　　
著者名 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会／編
書名ヨミ プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ　　　
著者名ヨミ デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版地 東京
出版年月 2005.10
ページ数 11,279p
大きさ 22cm
価格 ￥４９００
言語区分 日本語
ISBN 4-274-20123-6
分類 549.1
件名 イオンビーム加工　プラズマ物理学
内容紹介 プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術等の応用技術まで、平成13年からの調査研究をまとめる。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0006154389県立図書館364/ｵｵ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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