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書誌情報サマリ

書名

トコトンやさしい超微細加工の本　　　　　B&Tブックス　　　

著者名 麻蒔 立男／著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1

書誌詳細

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タイトル番号 1009910478598
書誌種別 和書
書名 トコトンやさしい超微細加工の本　　　　　B&Tブックス　　　
著者名 麻蒔 立男／著
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン　　ビー アンド ティー ブックス　
著者名ヨミ アサマキ タツオ
叢書名 B&Tブックス
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
価格 ￥１４００
言語区分 日本語
ISBN 4-526-05226-4
分類 549
件名 電子工学　ナノテクノロジー
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020585766県立図書館549/ｱｻ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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