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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術　　　　　ビギナーズブックス　29　　

著者名 岡崎 信次／著 　 鈴木 章義／著 　 上野 巧／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ　スズキ アキヨシ　ウエノ タクミ
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6

書誌詳細

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タイトル番号 1009910431910
書誌種別 和書
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術　　　　　ビギナーズブックス　29　　
著者名 岡崎 信次／著 鈴木 章義／著 上野 巧／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ　　ビギナーズ ブックス　
著者名ヨミ オカザキ シンジ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 29
出版者 工業調査会
出版地 東京
出版年月 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
価格 ￥２４００
言語区分 日本語
ISBN 4-7693-1224-5
分類 549.7
件名 リソグラフィー　半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020652210県立図書館549.7/ｵｶ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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2003
549.7　549.7
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