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書誌情報サマリ

書名

半導体CMP用語事典　　　　　　　　

著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2008.10

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1000810495007
書誌種別 和書
書名 半導体CMP用語事典　　　　　　　　
著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
書名ヨミ ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン　　　
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版地 東京
出版年月 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
価格 ￥３８００
言語区分 日本語
ISBN 4-274-20612-2
ISBN13 978-4-274-20612-2
分類 549.7
件名 集積回路-辞典
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0021728167県立図書館549.7/ｾｲ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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