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書誌情報サマリ

書名

分光エリプソメトリー　　　　　　　　

著者名 藤原 裕之／著
著者名ヨミ フジワラ ヒロユキ
出版者 丸善
出版年月 2003.6

書誌詳細

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タイトル番号 1009910431649
書誌種別 和書
書名 分光エリプソメトリー　　　　　　　　
著者名 藤原 裕之／著
書名ヨミ ブンコウ エリプソメトリー　　　
著者名ヨミ フジワラ ヒロユキ
出版者 丸善
出版地 東京
出版年月 2003.6
ページ数 251p
大きさ 21cm
価格 ￥４３００
言語区分 日本語
ISBN 4-621-07253-6
分類 433.5
件名 スペクトル分析　偏光
内容紹介 分光エリプソメトリーは簡便な高精度測定法としての地位を確立し、半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を研究者にわかりやすく解説した入門書。
著者紹介 東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。電子技術総合研究所任期付研究員等を経て、現在、産業技術総合研究所研究員。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020641692県立図書館433.5/ﾌｼ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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