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書誌情報サマリ

書名

半導体製造装置用語辞典　　　　　　　　

著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.9

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1000610288248
書誌種別 和書
書名 半導体製造装置用語辞典　　　　　　　　
著者名 日本半導体製造装置協会／編
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン　　　
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
版年 第6版
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年月 2006.9
ページ数 10,564p
大きさ 21cm
価格 ￥４７００
言語区分 日本語
ISBN 4-526-05740-1
分類 549.8
件名 半導体-辞典
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0021760780県立図書館549.8/ﾆﾎ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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