蔵書情報
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトル番号 |
1000410082479 |
| 書誌種別 |
和書 |
| 書名 |
イオン工学ハンドブック ナノテクノロジーへの道を拓く |
| 副書名 |
薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 |
| 著者名 |
水野 博之/監修
平尾 孝/編集委員長
|
| 書名ヨミ |
イオン コウガク ハンドブック ナノテクノロジー エノ ミチ オ ヒラク |
| 著者名ヨミ |
ミズノ ヒロユキ |
| 出版者 |
イオン工学研究所
|
| 出版地 |
枚方 |
| 出版年月 |
2004.10 |
| ページ数 |
1126p |
| 大きさ |
27cm |
| 価格 |
¥68000 |
| 言語区分 |
日本語 |
| ISBN |
4-526-05380-5 |
| 分類 |
549.1
|
| 件名 |
イオンビーム-便覧 |
| 内容紹介 |
次世代半導体デバイスや液晶ディスプレイ等に必要不可欠なイオン注入、生体材料等に応用される表面改質、イオンビームミキシング、三次元加工技術等を包含し、イオン工学の基礎から具体的な材料やデバイスの適用事例を詳説。 |
内容細目
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
資料番号 |
所蔵館 |
請求番号 |
配架場所 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
| 1 |
0021762083 | 県立図書館 | 549.1/ミス/ | 書庫1 | 一般和書 | 貸可資料 | 在庫 |
○ |
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