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書誌情報サマリ

書名

イオン工学ハンドブック  ナノテクノロジーへの道を拓く    

著者名 水野 博之/監修   平尾 孝/編集委員長
著者名ヨミ ミズノ ヒロユキ ヒラオ タカシ
出版者 イオン工学研究所
出版年月 2004.10


書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1000410082479
書誌種別 和書
書名 イオン工学ハンドブック  ナノテクノロジーへの道を拓く    
副書名 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
著者名 水野 博之/監修 平尾 孝/編集委員長
書名ヨミ イオン コウガク ハンドブック ナノテクノロジー エノ ミチ オ ヒラク  
著者名ヨミ ミズノ ヒロユキ
出版者 イオン工学研究所
出版地 枚方
出版年月 2004.10
ページ数 1126p
大きさ 27cm
価格 ¥68000
言語区分 日本語
ISBN 4-526-05380-5
分類 549.1
件名 イオンビーム-便覧
内容紹介 次世代半導体デバイスや液晶ディスプレイ等に必要不可欠なイオン注入、生体材料等に応用される表面改質、イオンビームミキシング、三次元加工技術等を包含し、イオン工学の基礎から具体的な材料やデバイスの適用事例を詳説。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0021762083県立図書館549.1/ミス/書庫1一般和書貸可資料 在庫    

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