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書誌情報サマリ

書名

薄膜作製ハンドブック　　　　　　

著者名 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会／編
著者名ヨミ オウヨウ ブツリ ガッカイ ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ
出版者 共立出版
出版年月 1991.3

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1005010275721
書誌種別 和書
書名 薄膜作製ハンドブック　　　　　　
著者名 応用物理学会 薄膜・表面物理分科会／編
書名ヨミ ハクマク サクセイ ハンドブック　　　
著者名ヨミ オウヨウ ブツリ ガッカイ ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ
出版者 共立出版
出版地 東京
出版年月 1991.3
ページ数 380p
大きさ 27cm
価格 ￥９０００
言語区分 日本語
ISBN 4-320-08493-4
分類 549
件名 薄膜
内容紹介 現在用いられている薄膜作製法を学問的見地から集大成.薄膜作製の基礎となる確立された事項の解説と新しい技術の紹介との両方をバランスよく,かつ具体的に記載し,初学者から研究者まで役立つハンドブック.



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0001384940県立図書館549/177/書庫２一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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