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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体洗浄技術　　　ビギナーズブックス　23　　

著者名 小川 洋輝／著 　 堀池 靖浩／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ　ホリイケ ヤスヒロ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3

書誌詳細

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タイトル番号 1009910315273
書誌種別 和書
書名 はじめての半導体洗浄技術　　　ビギナーズブックス　23　　
著者名 小川 洋輝／著 堀池 靖浩／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ　　ビギナーズ ブックス　
著者名ヨミ オガワ ヒロキ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 23
出版者 工業調査会
出版地 東京
出版年月 2002.3
ページ数 276p
大きさ 21cm
価格 ￥２３００
言語区分 日本語
ISBN 4-7693-1212-1
分類 549.8
件名 半導体　洗浄法
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020339032県立図書館549.8/ｵｶ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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