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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体ナノプロセス　　　ビギナーズブックス　32　　

著者名 前田 和夫／著
著者名ヨミ マエダ カズオ
出版者 工業調査会
出版年月 2004.2

書誌詳細

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タイトル番号 1009910481056
書誌種別 和書
書名 はじめての半導体ナノプロセス　　　ビギナーズブックス　32　　
著者名 前田 和夫／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス　　ビギナーズ ブックス　
著者名ヨミ マエダ カズオ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 32
出版者 工業調査会
出版地 東京
出版年月 2004.2
ページ数 239p
大きさ 21cm
価格 ￥２２００
言語区分 日本語
ISBN 4-7693-1225-3
分類 549.8
件名 半導体　ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0020599734県立図書館549.8/ﾏｴ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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