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書誌情報サマリ

書名

電子・イオンビームハンドブック        

著者名 日本学術振興会第132委員会/編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ダイヒャクサンジュウニ イインカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1998.10


書誌詳細

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タイトル番号 1009810065143
書誌種別 和書
書名 電子・イオンビームハンドブック        
著者名 日本学術振興会第132委員会/編
書名ヨミ デンシ イオン ビーム ハンドブック   
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ダイヒャクサンジュウニ イインカイ
版年 第3版
出版者 日刊工業新聞社
出版地 東京
出版年月 1998.10
ページ数 963p
大きさ 22cm
価格 ¥24000
言語区分 日本語
ISBN 4-526-04247-1
分類 549.1
件名 電子線-便覧 イオンビーム-便覧
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0005373949県立図書館549.1/ニホ/書庫1一般和書貸可資料 在庫    

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