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書誌情報サマリ

書名

超微細加工技術　　　　　応用物理学シリーズ　　　

著者名 徳山 巍／編著
著者名ヨミ トクヤマ タカシ
出版者 オーム社
出版年月 1997.2

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトル番号 1009710011521
書誌種別 和書
書名 超微細加工技術　　　　　応用物理学シリーズ　　　
著者名 徳山 巍／編著
書名ヨミ チョウビサイ カコウ ギジュツ　　オウヨウ ブツリガク シリーズ　
著者名ヨミ トクヤマ タカシ
叢書名 応用物理学シリーズ
出版者 オーム社
出版地 東京
出版年月 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
価格 ￥６５００
言語区分 日本語
ISBN 4-274-02332-X
分類 549.8
件名 半導体
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0005267612県立図書館549.8/ﾄｸ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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