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書誌情報サマリ

書名

プラズマプロセス技術　　ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー　　　　　　

著者名 プラズマ・核融合学会／編
著者名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者 森北出版
出版年月 2017.1

書誌詳細

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タイトル番号 1006000174979
書誌種別 和書
書名 プラズマプロセス技術　　ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー　　　　　　
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者名 プラズマ・核融合学会／編
書名ヨミ プラズマ プロセス ギジュツ　ナノ ザイリョウ サクセイ カコウ ノ タメ ノ アトム テクノロジー　　
著者名ヨミ プラズマ カク ユウゴウ ガッカイ
出版者 森北出版
出版地 東京
出版年月 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
価格 ￥５６００
言語区分 日本語
ISBN 4-627-77561-9
ISBN13 978-4-627-77561-9
分類 501.4
件名 材料科学　プラズマ物理学
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0023015423県立図書館501.4/ﾌﾗ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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