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書誌情報サマリ

書名

これからのMEMS　　LSIとの融合　　　　　　

著者名 江刺 正喜／共著 　 小野 崇人／共著
著者名ヨミ エサシ マサヨシ　オノ タカヒト
出版者 森北出版
出版年月 2016.6

書誌詳細

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タイトル番号 1006000117146
書誌種別 和書
書名 これからのMEMS　　LSIとの融合　　　　　　
副書名 LSIとの融合
著者名 江刺 正喜／共著 小野 崇人／共著
書名ヨミ コレカラ ノ メムス　エルエスアイ トノ ユウゴウ　　
著者名ヨミ エサシ マサヨシ
出版者 森北出版
出版地 東京
出版年月 2016.6
ページ数 5,151p
大きさ 22cm
価格 ￥２６００
言語区分 日本語
ISBN 4-627-77551-0
ISBN13 978-4-627-77551-0
分類 530
件名 マイクロマシン
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
著者紹介 1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0022935043県立図書館530/ｴｻ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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