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書誌情報サマリ

書名

はじめての半導体ドライエッチング技術　　　　　現場の即戦力　　　

著者名 野尻 一男／著
著者名ヨミ ノジリ カズオ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1

書誌詳細

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タイトル番号 1002000172359
書誌種別 和書
書名 はじめての半導体ドライエッチング技術　　　　　現場の即戦力　　　
著者名 野尻 一男／著
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ　　ゲンバ ノ ソクセンリョク　
著者名ヨミ ノジリ カズオ
叢書名 現場の即戦力
出版者 技術評論社
出版地 東京
出版年月 2012.1
ページ数 8,162p
大きさ 21cm
価格 ￥２２８０
言語区分 日本語
ISBN 4-7741-4940-0
ISBN13 978-4-7741-4940-0
分類 549.8
件名 半導体
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
著者紹介 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。



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No. 資料番号 所蔵館 請求番号 配架場所 資料種別 帯出区分 状態 貸出
1 0022287866県立図書館549.8/ﾉｼ/書庫１一般和書貸可資料　在庫　　　  ○

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